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特气管道 沉积槽

发布日期:2017-06-12 17:03:26 访问次数:1438

特气管道 沉积槽
主要用途:
特种气体喷出至微波发生器进行反应后.形成氮化硅然后附着在硅片的表面,以此达到工艺需求。
沉积槽的是覆盖3组特气管道,起到保护的作用。

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